1)工业气体管道的干管,应敷设在技术夹层、技术夹道内。氢气和氧气管道且明敷,如敷设在技术夹层、技术夹道内时,应采取良好的通风措施。引入洁净的支管宜明敷。
3)穿过洁净室墙壁或楼板的气体管道,应敷设在预埋套管内,套管内的管段不应有焊缝。管道与套管之间应采取可靠的密封措施。
5)气体净化装置应根据气源和生产工艺对气体统一计划的要求进行选择。气体终端净化装置应设在靠近用气点处。
④管道与设备的连接段,宜采用金属管道:如为非金属软管时,宜采用聚四氟乙烯管聚乙烯管.不得采用乳胶管。
2)高纯气体管道应采用密封性能好的低门和附件,其材料与管道相适应。阀门的密合圈应为有色金属、不锈钢或聚四氟乙烯材料。阀门的填塞料应采用聚四氟乙烯材料。
2)管道与设备、阀门的连接处,宜采用法兰、螺纹或其他密封性能优良的连接件。螺纹处宜采用聚四氟乙烯带密封。
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